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手持式光谱仪系统使用针孔准直器,它可以过滤X射线,只有那些按照平行于特定轨迹行进的X射线才能通过。准直器的大小决定了投射到样品上的照射点的大小。手持式光谱仪仪器具有单个或多个准直器,具体取决于被测部件的几何形状和尺寸范围。它最初只被国家实验室和其他一些参与小特征分析和元素分析的研究机构采用,但是当工业界看到其在过程和质量控制方面的潜力时,仪器公司对该技术进行了重新思考和优化,包括增加功能、增强图像分辨率,以及提高测量速度等。
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